Remote Plasma Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성
2024.05.08 11:06
안녕하세요, 교수님.
현재 반도체 업체에서 근무중인 엔지니어입니다.
현재 Clean 조건은 High pressure 및 Low pressure Clean을 사용하고 있습니다.
혹시 High Pressure Clean 진행 간 Showerhead와 Heater간 간격이 조금 더 넓어지면 Clean 효율에 문제가 있을까요?
Ex) 10mm → 13mm
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플라즈마 breakdown, 특히 Pachen's law를 잘 살펴 보세요.
여기서 Pd 의 함수에 집중하시고, d는 전극간 거리이고 P의 역수는 collision mean free path 입니다. 따라서 Pd는 질문의 내용의 답변이 됩니다. 특히 고압에서 이 관계식은 잘 맞습니다. 관련 내용은 게시판에 여러번 설명이 되어 있으니 살펴 보시면 도움이 될 것 같습니다.