Others PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다.
2024.05.25 16:42
안녕하세요 지금 연세대학교에 재학중인 학부생입니다. 다름이 아니라 PECVD실험을 해서 논문을 쓰고 싶은데 PECVD 실험에 대해서 질문드리고자 합니다. PECVD실험을 할때 저희가 변수를 세워야 할 것이 뭐가 있을지 조언을 얻고 싶습니다. 그리고 pe-cvd를 이용하여 박막을 증착시킬경우 박막 특성을 평가하기 위한방법에는 어떤 것이 있나요?
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] | 77222 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20468 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57362 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68902 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92950 |
26 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 143 |
25 | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 139 |
24 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 135 |
23 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 131 |
22 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 126 |
21 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 123 |
20 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 120 |
19 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 112 |
18 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 102 |
17 | HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] | 91 |
16 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 91 |
15 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 89 |
14 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 86 |
13 | 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] | 83 |
12 | ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] | 77 |
11 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 77 |
» | PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. | 68 |
9 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 61 |
8 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 59 |
7 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 54 |