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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73294
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453 ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어] [1] 3952
452 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1206
451 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1230
450 산소 양이온의 금속 전극 충돌 현상 [플라즈마 표면 반응] [1] 2810
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전] [1] 781
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1598
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단] [1] 1032
446 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1147
445 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1196
444 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1210
443 Frequency에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [전자와 이온의 열운동 특성과 반응 거리] [1] 791
442 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance] [1] 1962
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 671
440 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화] [3] 723
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2471
438 Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어] [1] 2072
437 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1606
436 DRY Etcher Alarm : He Flow 관점 문의 드립니다. [O ring 결합부 근처 leak detect] [1] 2882
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색] [1] 4298
434 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 1029
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