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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [표면 화학 반응]
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강의를 들을 수 없는건가요? [플라즈마 진단 심포지움 및 PSES-net]
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입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
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안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [VI probe]
[3] | 6407 |
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3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존]
[2] | 1261 |
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327 |
RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [물리적/화학적 세정]
[4] | 6837 |
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핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소]
[1] | 772 |
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Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability]
[1] | 840 |
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324 |
잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [군산대학교 주정훈 교수님]
[1] | 2267 |
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CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [유전체 격벽 방전]
[1] | 7883 |
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ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power]
[2] | 1495 |
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321 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
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SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [반응성 기체 생성]
[1] | 6117 |
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코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [Reaction rate 및 reaction rate coefficient]
[1] | 6776 |
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318 |
RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정]
[4] | 9446 |
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317 |
모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의
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316 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [최적 정합 조건 및 정합 시간]
[2] | 2825 |
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315 |
HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [Sputtering 및 particle issue]
[1] | 4684 |
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314 |
Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과]
[1] | 1727 |
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313 |
RPSC 관련 질문입니다. [플라즈마 발생과 쉬스 형성, 벽면 및 시료 demage]
[2] | 4798 |
