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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 챔버 의 임피던스 관련
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반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
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211 |
광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요?
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석영이 사용되는 이유 [플라즈마 내식성과 불순물 제어]
[1] | 20436 |
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surface wave plasma에 대해서 [Microwave와 electron temperature]
[1] | 18785 |
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CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점.
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전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield]
[1] | 21490 |
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206 |
N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [Cooling과 Etch rate]
[2] | 24180 |
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질문이 몇가지 있읍니다. [Lorentz force와 Magnetic cusp]
[1] | 19411 |
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204 |
저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision]
[1] | 21591 |
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203 |
H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure]
[1] | 25169 |
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202 |
dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity]
[3] | 26893 |
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201 |
몇가지 질문있습니다
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플라즈마내의 전자 속도 [Self bias]
[1] | 22225 |
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Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달]
[1] | 18442 |
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matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계]
[1] | 30038 |
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197 |
TMP에 대해 다시 질문 드립니다.
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196 |
터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요!
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[re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요!
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Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술]
[1] | 22800 |
