번호 제목 조회 수
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60504
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72365
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 102959
212 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41597
211 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23607
210 석영이 사용되는 이유 [플라즈마 내식성과 불순물 제어] [1] 20377
209 surface wave plasma에 대해서 [Microwave와 electron temperature] [1] 18743
208 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23388
207 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield] [1] file 21421
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [Cooling과 Etch rate] [2] 24125
205 질문이 몇가지 있읍니다. [Lorentz force와 Magnetic cusp] [1] 19384
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 21554
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure] [1] 25131
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity] [3] 26804
201 몇가지 질문있습니다 16639
200 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22199
199 Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달] [1] 18373
198 matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계] [1] 29994
197 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18428
196 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19437
195 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19844
194 Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술] [1] 22752
193 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works] [1] 21511

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