안녕하세요

혼자 해결하려고 몇달을 고민하고 도전하다가, 비전공자의 한계를 극복하지 못하고 글 남깁니다..


고전압 진공관 관련해서 실험을 하고 있는 직장인입니다.


고전압 진공관을 작동할 때에, 진공관은 대기중(질소로 퍼징하지 않고)에서 펌프로 대략 10e-5 이상으로 진공을 유지하고 있습니다.

제가 알고 있는 지식선에서는 진공관에서 고전압을 인가 할 경우에는 어떠한 현상도 발생하지 않아야 합니다.


그런데, 고전압을 인가해주면 글로우 방전과 비슷하게 보라색과 분홍색이 섞인듯한 빛을 띄는 에너지 파?(글로 방전 예상)가 이동하는 것을 확인하였습니다. 그 이후 조금 더 높은 전압을 인가했을 때에는 에너지 파?가 아닌 단순히 형광등 처럼 빛(플라즈마 예상)이 나기만 했습니다.

이럴 경우에 진공이 안좋아서 전리 여기현상으로 글로방전 또는 플라즈마가 발생하는 것으로 예상됩니다.


하지만, 진공의 문제가 아니라 다른 문제가 있다고 판단하여 좀더 높은 전압을 인가하였을 때, 아크가 발생하면 빛이 사라지는 경우를 확인했습니다. 

이런 경우가 될 경우에는 빛이 발생하는 현상은 진공과 관계가 없다고 판단되고, 진공관 내 어떠한 표면이 불안정하여 플라즈마 현상의 원인이 되는 것으로 판단됩니다.. 


그러나, 그 진공관에서 전극 사이에 가장 가까운 거리를 가지는 것은 절연체 밖에 없습니다..

 

여기서 질문을 드리고자 하는 것은 아래와 같습니다.


1. 진공관에서 글로방전 또는 플라즈마가 발생하는 것을 진공만의 문제일 수 있을까요?

2. 진공관의 절연부분이 글로방전 또는 플라즈마 발생의 원인이 될 수 있을까요?

3. 진공관 내 이물질 흡착으로 인하여 고전압 인가 시에 글로방전 또는 플라즈마 발생하는 것의 원인이 될 수 있을까요?

4. 진공관 내 절연거리가 부족하여 글로방전 또는 플라즈마 발생의 원인이 될 수 있을까요?


제가 더 필요하게 알아봐야 할 부분이 있는 것으로 보이시면 논문이나 서적 추천 부탁드립니다..


글 읽어주셔서 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76968
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20328
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57246
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68798
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92788
198 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 980
197 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1007
196 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1020
195 플라즈마 코팅 [1] 1039
194 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1041
193 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1050
192 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1063
191 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1101
190 wafer bias [1] 1142
189 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1145
188 자기 거울에 관하여 1146
187 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1146
186 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1149
185 Group Delay 문의드립니다. [1] 1152
184 전자 온도 구하기 [1] file 1154
183 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1168
182 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1246
181 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1252
180 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1270
179 플라즈마 기초입니다 [1] 1295

Boards


XE Login