안녕하세요. 카이스트에서 석사 1년차로 있는 대학원생입니다.

 

Single probe로 electron energy probability distribution을 구할 때, low energy electron은 bulk plasma에서 평형 상태에 도달한 전자들을 지칭하고 high energy electron은 cathode에서 방출되고 probe sheath를 통해 bulk plasma로 가속되는 전자들을 지칭하는 것으로 알고 있습니다.

 

이 두 그룹의 전자들을 구분할 수 있는 식이 따로 있는지 궁금합니다. 실험을 통해 얻은 EEPF에서 몇 eV부터 몇 eV까지는 low energy electrons이고 몇 eV부터 몇 eV까지는 high electrons이다 라는 형태의 답을 얻고 싶습니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77211
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20465
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68901
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92946
158 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1957
157 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1983
156 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 2014
155 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 2028
154 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 2039
153 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2142
152 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2166
151 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2172
150 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2187
149 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2258
148 플라즈마볼 제작시 [1] file 2268
147 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2294
146 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2323
145 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2348
144 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2442
143 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2499
142 질문있습니다. [1] 2593
141 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2744
140 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2828
139 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3168

Boards


XE Login