Others 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
2017.09.07 15:11
현재, 스퍼터링 시스템에 대해 공부를 하고 있습니다.
자연스레 플라즈마에 대해 알아야 되더라고요.
근데 공부 중에 플라즈마에 관련된 여러 변수 또는 파라미터들을 알게 되었습니다.
그 중 제가 질문하고자 하는 변수는 RF 파워인데요
RF 파워가 커지면 이온 에너지도 커진다고 알고 있습니다.
이게 왜 그런지 알고 싶습니다!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77111 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20407 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57319 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68860 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92874 |
198 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 980 |
197 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 1007 |
196 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1020 |
195 | 플라즈마 코팅 [1] | 1043 |
194 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1044 |
193 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1050 |
192 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1065 |
191 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1107 |
190 | 자기 거울에 관하여 | 1146 |
189 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1146 |
188 | wafer bias [1] | 1150 |
187 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1151 |
186 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1155 |
185 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 1158 |
184 | 전자 온도 구하기 [1] | 1163 |
183 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1168 |
182 | 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] | 1248 |
181 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 1259 |
180 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 1277 |
179 | 플라즈마 기초입니다 [1] | 1296 |