Plasma in general RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상
2018.11.22 16:01
안녕하세요. 투명전극을 주제로 실험 및 공부를 하고 있는 학생입니다.
다름이 아니라 저희 연구실에서 sputter장비를 set up하고 있는데 해결을 못하고 있는 문제가 있어서 조언을 요청드립니다.
RF magnetron sputtering 장비이며 4in target 4ea 가 장착되어있는 chamber인데, RF파워 인가시, 초기에 plasma가 발생하였다가 reflect가 올라가면서 불안정적으로 변하면서 완전히 꺼지는 현상이 있습니다. chamber open후 target상태를 보면 target마다 다르지만 erosion track이 비 정상적으로 좁고 깊게 파이거나 damage를 입은것을 확인할 수 있습니다.
초기엔 target gun 의 magnet flux를 의심하였는데 타 회사의 gun에서도 비슷한 경향이 나타나고 있습니다.
1.혹시 matcher에서 mismatch가 발생하면서 이러한 현상이 발생할 수 있나요?(있다면 왜 plasma on초기부터 발생하지 않고 나중에 발생하는지 이유를 알 수 있을까요?
2.혹시 제가 고려하지 못한 다른 제어 요소가 있는지 여쭤보고 싶습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76897 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57205 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68759 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92719 |
237 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 489 |
236 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 491 |
235 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 492 |
234 | 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] | 519 |
233 | self bias [1] | 546 |
232 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 554 |
231 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 569 |
230 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 590 |
229 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 594 |
228 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 596 |
227 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 596 |
226 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 600 |
225 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 602 |
224 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 646 |
223 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 663 |
222 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 686 |
» | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 690 |
220 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 699 |
219 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 710 |
218 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 724 |