Plasma in general 플라즈마 용어 질문드립니다

2021.03.08 23:32

이상웅 조회 수:793

플라즈마 관련 기기 ETCH 장비군에 일하는 사원입니다

 

이번에 해당 직군으로 부서이동하여 플라즈마에 관해 잘 몰랐는데 여기서 많은 정보 얻고 있습니다

 

정말 감사드립니다

다름이 아니고 기본 용어인 VDC, VPP의 개념이 잘 이해가 안됩니다

 

둘 다 RF에 의해 발생하는 파장(?)으로 이해되고 있는데

해당 용어에 대한 설명 좀 부탁드립니다

 

해당 용어로 질문방에 검색해 가면서 이해하려 해도 기초지식이 부족한지 잘 이해가 안됩니다

 

 

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