Plasma in general 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무

2023.01.16 16:15

karsir 조회 수:174

Air나 N2를 활용한 로테이팅 젯 플라즈마로 Tool의 유기오염 제거를 평가 적용하고자 합니다.

해당 Tool은 오염 점착 방지를 위하여 실리콘 수지가 Amu(에이뮤코팅)되어 수um T.를 형성하고 있습니다.

실리콘 수지가 중합체일 것으로 추정되는데 Plasma가 해당 코팅에는 어떤 영향을 줄지 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77151
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20430
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57337
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68884
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92905
258 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 372
257 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 622
256 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 282
255 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 522
254 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 616
253 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 160
252 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 431
251 corona model에 대한 질문입니다. [1] 176
250 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 221
249 plasma 공정 중 색변화 [1] 675
248 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 326
247 self bias [1] 549
246 Self bias 내용 질문입니다. [1] 869
» 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 174
244 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 909
243 plasma modeling 관련 질문 [1] 391
242 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1148
241 플라즈마 관련 교육 [1] 1422
240 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 465
239 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1279
쓰기
태그

Boards

XE Login