Plasma in general plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다
2023.07.27 18:30
안녕하세요~
반도체 관련 회사에 종사중으로 항상 이곳에서 많은 도움을 받다가 정말 궁금한게 있어 글 남깁니다
제가 알기로는 플라즈마 오프 시, 쉬스 내에 트랩되어있던 파티클들이 중력에 의해 챔버 바닥 혹은 히터/ESC 위에 있는 웨이퍼로 떨어지는 것으로 압니다
이때 1초만에 0으로 뚝 끄던걸 1-2초 혹은 더 이상으로 나눠서 꺼주면 , 즉 ramping 으로 off 하게 되면 (예를 들어 1000-400-0 이런식으로 몇초에 걸쳐 끔)
플라즈마가 약해질수록 엣지쪽 시스가 두꺼워지면서 플라즈마가 완전히 꺼질 시 플라즈마 내 있던 파티클들이 웨이퍼 옆으로 떨어져서 챔버 하부로 빠져나가는 개념으로 알고있는데 제가 알고있는게 맞을지? 아니라면 플라즈마를 나눠서 끌때 파티큹 측면에서 좋은점이 뭘지? 아니면 이론상 파티클과 상관없을지 의견주시면 감사하겠습니다!!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77073 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20386 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57296 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68843 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92847 |
257 | 플라즈마 쉬스 | 23974 |
256 | 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. | 23468 |
255 | DC glow discharge | 23270 |
254 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 23162 |
253 | floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] | 22860 |
252 | remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] | 22243 |
251 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 22010 |
250 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21923 |
249 | manetically enhanced plasmas | 21663 |
248 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21423 |
247 | Breakdown에 대해 | 21390 |
246 | 플라즈마 실험 | 21354 |
245 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21340 |
244 | 플라즈마란? | 21063 |
243 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20988 |
242 | 이온주입량에 대한 문의 | 20743 |
241 | 교재구입 | 20727 |
240 | Three body collision process | 20654 |
239 | 확산펌프 | 20526 |