Others Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다.
2023.10.19 19:41
안녕하십니까
플라즈마 장비 관련하여 공부하던 중 아킹 관련하여 궁금증이 생겨 문의드립니다.
혹시 웨이퍼를 잡아주는 엣지링이나 전극의 소재 특성을 바꾸어 주어 방전 효과를 준다면 아킹을 줄일 수 있을지 문의드립니다.
추가로 엣지링의 전도도와 같은 특성을 변경한다면 쉬스 영역에 변화가 생길지도 문의드립니다.
( 전도도가 높을 때와 낮을 때 쉬스의 변화가 있는지 궁금합니다.)
아직은 지식이 많이 부족한 상태입니다. 많은 도움 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76897 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57206 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68760 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92719 |
37 | 교재구입 | 20727 |
36 | 이온주입량에 대한 문의 | 20742 |
35 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20980 |
34 | 플라즈마란? | 21063 |
33 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21337 |
32 | 플라즈마 실험 | 21352 |
31 | Breakdown에 대해 | 21385 |
30 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21417 |
29 | manetically enhanced plasmas | 21661 |
28 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21913 |
27 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 22004 |
26 | remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] | 22212 |
25 | floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] | 22858 |
24 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 23150 |
23 | DC glow discharge | 23267 |
22 | 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. | 23458 |
21 | 플라즈마 쉬스 | 23958 |
20 | plasma and sheath, 플라즈마 크기 | 23990 |
19 | self Bias voltage | 24093 |
18 | 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! | 24123 |