Others Plasma Gas의 차이점

2009.10.16 04:38

Nick 조회 수:18023 추천:113

안녕하세요
저는 플라즈마 실무를 이제 막 접하게 된 직장인입니다
화공과를 나왔지만 회사에서 주어진 일이라 어쩔 수 없이 플라즈마를 담당하게 되었습니다

Plasma에 사용하는 Gas가 여러가지가 있던데 차이점이 무엇인지 알 수 있을까요?

예를 들어,
Ar, O2, CF4, H2N2 등을 사용하는데 언제 이 가스들을 사용해야 하는지 알 수가 없습니다

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77126
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20418
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57329
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68867
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92888
218 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 733
217 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 751
216 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 767
215 교수님 질문이 있습니다. [1] 770
214 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 777
213 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 793
212 Collisional mean free path 문의... [1] 799
211 플라즈마 충격파 질문 [1] 807
210 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 829
209 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 842
208 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 858
207 Self bias 내용 질문입니다. [1] 868
206 문의 드립니다. [1] 876
205 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 908
204 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 939
203 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 944
202 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 963
201 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 969
200 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 980
199 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 980
쓰기
태그

Boards

XE Login