Plasma in general RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상
2018.11.22 16:01
안녕하세요. 투명전극을 주제로 실험 및 공부를 하고 있는 학생입니다.
다름이 아니라 저희 연구실에서 sputter장비를 set up하고 있는데 해결을 못하고 있는 문제가 있어서 조언을 요청드립니다.
RF magnetron sputtering 장비이며 4in target 4ea 가 장착되어있는 chamber인데, RF파워 인가시, 초기에 plasma가 발생하였다가 reflect가 올라가면서 불안정적으로 변하면서 완전히 꺼지는 현상이 있습니다. chamber open후 target상태를 보면 target마다 다르지만 erosion track이 비 정상적으로 좁고 깊게 파이거나 damage를 입은것을 확인할 수 있습니다.
초기엔 target gun 의 magnet flux를 의심하였는데 타 회사의 gun에서도 비슷한 경향이 나타나고 있습니다.
1.혹시 matcher에서 mismatch가 발생하면서 이러한 현상이 발생할 수 있나요?(있다면 왜 plasma on초기부터 발생하지 않고 나중에 발생하는지 이유를 알 수 있을까요?
2.혹시 제가 고려하지 못한 다른 제어 요소가 있는지 여쭤보고 싶습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77053 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20375 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57284 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68832 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92832 |
238 | 형광등과 플라즈마 | 20258 |
237 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 20074 |
236 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20021 |
235 | cross section 질문 [1] | 19724 |
234 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19662 |
233 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19569 |
232 | self bias [1] | 19499 |
231 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19362 |
230 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19337 |
229 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19195 |
228 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19136 |
227 | 플라즈마에 관하여... | 18964 |
226 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18775 |
225 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18768 |
224 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18657 |
223 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18569 |
222 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18554 |
221 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18537 |
220 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
219 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18321 |