Ion/Electron Temperature 플라즈마내의 전자 속도
2009.10.16 04:52
플라즈마 장비 내의 bias를 100W 정도 주었을 때, 전자의 속도를 알 수 있을까요?
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77055 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20376 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57289 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68834 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92833 |
| 98 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 1256 |
| 97 | 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] | 1248 |
| 96 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1168 |
| 95 |
전자 온도 구하기
[1]  | 1161 |
| 94 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 1157 |
| 93 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1152 |
| 92 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1149 |
| 91 | 자기 거울에 관하여 | 1146 |
| 90 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1146 |
| 89 | wafer bias [1] | 1144 |
| 88 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1106 |
| 87 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1065 |
| 86 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1050 |
| 85 | 플라즈마 코팅 [1] | 1042 |
| 84 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1042 |
| 83 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1020 |
| 82 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 1007 |
| 81 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 980 |
| 80 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 979 |
| 79 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 978 |