플라즈마 띄울때


산소 소모량이 40 l/min이라고 합니다.


(공기평균 분자량은 29 g/mol)이라고 괄호가 쳐있구요


만약 Ar일때는 분당 몇 l가 소모될까요???


자세한 답변 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77067
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20383
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57293
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68839
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92841
178 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1316
177 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1358
176 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1373
175 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1375
174 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1394
173 플라즈마 관련 교육 [1] 1420
172 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1440
171 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1447
170 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1458
169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1470
168 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1540
167 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1542
166 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1570
165 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1667
164 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1698
163 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1711
162 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1717
161 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1794
160 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1869
159 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1871

Boards


XE Login