Plasma in general 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.

2021.02.16 15:54

blackstar 조회 수:28577

안녕하세요.

국내 소재 기업에 근무하며 진공장비 및 박막 공정에 대해 공부하고 있는 이용섭입니다.

 

궁금한 점은

 

DC나 RF 플라즈마를 켜고 육안으로 봤을 때 압력에 따라 플라즈마의 크기(퍼지는 정도)에 차이가 발생합니다.

 

압력이 낮으면 플라즈마 크기가 커지고(퍼지고), 압력이 높아지면 플라즈마 크기가 작아지는 것으로 보입니다.

 

이러한 현상이 나타나는 이유(압력에 따라 플라즈마 크기가 달라지는 이유, 원리)가 궁금합니다.

 

 

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77070
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20385
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57294
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68840
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92843
278 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 25
277 Druyvesteyn Distribution 27
276 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 37
275 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 107
274 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 111
273 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 128
272 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 141
271 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 145
270 Microwave & RF Plasma [1] 148
269 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 157
268 corona model에 대한 질문입니다. [1] 172
267 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 174
266 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 198
265 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 219
264 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 226
263 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 240
262 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 278
261 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 307
260 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 325
259 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 325
쓰기
태그

Boards

XE Login