Plasma in general Co-relation between RF Forward power and Vpp
2022.04.27 17:35
Hello,
I am working on a ALD (Atomic layer deposition) product wherein we are processing multiple wafers in the single reactor.
When we supply RF power to one of the reactor (i.e. REACTOR 1), the other reactor (REACTOR 2) beside reactor 1 is showing high Vpp value. We are not supplying RF power to reactor 2. (Please note reactor 1 & reactor 2 share the gas flow volume and are not fully isolated)
Why would this be happening ?
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76897 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57205 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68759 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92719 |
56 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18553 |
55 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18568 |
54 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18654 |
53 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18762 |
52 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18768 |
51 | 플라즈마에 관하여... | 18963 |
50 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19118 |
49 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19195 |
48 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19330 |
47 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19362 |
46 | self bias [1] | 19491 |
45 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19564 |
44 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19661 |
43 | cross section 질문 [1] | 19722 |
42 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20015 |
41 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 20067 |
40 | 형광등과 플라즈마 | 20256 |
39 | 확산펌프 | 20525 |
38 | Three body collision process | 20651 |