Ion/Electron Temperature 플라즈마 진단 공부중 질문
2022.07.08 16:13
안녕하세요. 플라즈마 장비 엔지니어입니다.
광학적 (OES) 플라즈마 진단을 공부하는 도중
PAL에서 학위를 받으신 박사님의 자료를 보게되었는데 질문사항이 생겨 글남기게 되었습니다.
Particle Balance Equation 이라고 해서 아래와 같은데요,
n1 = n0 - n1s2 - n1s3 - n1s4 - n1s5 - ne
n1 = Ground State Density
n0 = Total Gas Density
n1sx = Ar 4s
ne = Electron Density
1. 여기서 n1과 n0는 모두 이상기체방정식으로 구하는게 맞나요 ?? (n=P/kT)
2. 혹시 맞다면 방전이 Off일때 기체온도, On일때 기체온도의 차이로 인해 구분될 수 있는건가요 ?
- Off일때 기체온도가 낮아서 n0 값이 큼
- On일때 기체온도가 높아서 ng 값이 작음
항상 좋은정보 감사드립니다~~
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77053 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20375 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57286 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68833 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92832 |
| » | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 706 |
| 237 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 491 |
| 236 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 601 |
| 235 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 1157 |
| 234 | Bias 관련 질문 드립니다. [1] | 3469 |
| 233 | Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] | 4860 |
| 232 | RF 전압과 압력의 영향? [1] | 1698 |
| 231 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 1375 |
| 230 | standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1666 |
| 229 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 451 |
| 228 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8756 |
| 227 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1358 |
| 226 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1020 |
| 225 | 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] | 1542 |
| 224 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 733 |
| 223 | CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] | 2023 |
| 222 | LF Power에의한 Ion Bombardment [2] | 2108 |
| 221 |
전자 온도 구하기
[1]  | 1161 |
| 220 | 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] | 326 |
| 219 | CVD 공정에서의 self bias [1] | 3174 |