Others O2 Plasma 에칭 실험이요

2019.01.30 14:20

Elin0503 조회 수:969

안녕하세요. 회사에 다니고 있는 직장인입니다.


이번에 저희 회사 연구실에서 O2 Plasma를 이용하여 Carbon Film을 날리는 실험을 계획중에 있습니다.


그런데 Carbon Film이 Depo된 Wafer를 구하기가 쉽지가 않습니다..


혹시 Carbon 시편을 구할 수 있는 곳이라던가 연락처아시면 


공유가 가능할까 싶어 너무나 간절한 마음에 여기에 이렇게 질문글을 작성합니다..


도움 부탁드리겠습니다..

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77169
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20450
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57349
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68888
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92922
178 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1319
177 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1365
176 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1374
175 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1381
174 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1396
173 플라즈마 관련 교육 [1] 1425
172 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1440
171 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1449
170 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1459
169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1471
168 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1542
167 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1548
166 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1571
165 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1680
164 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1707
163 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1711
162 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1720
161 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1808
160 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1872
159 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1909
쓰기
태그

Boards

XE Login