Others Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
2020.09.08 09:59
안녕하세요. 장비회사에서 근무하는 양철훈 이라고 합니다.
궁금한 점이 있어 문의 드립니다.
- DC sputter에서 스퍼터링 건에서 전원부 말고 Sheild나 housing는 전기적으로 ground가 좋은가요 floating 시키는 것이 좋은지요. DC에서는 상관없을 수도 있다는 생각이 들기도 합니다.
- 동일 질문을 RF sputter의 경우에 하면 어떤 것이 더 좋은지요. RF에서는 charging 문제로 ground가 되어야만 할 것같다는 생각이 들기도 합니다.
어떤 것이 더 좋은지와 이 이유 답변 부탁드립니다.
감사합니다.
댓글 2
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77208 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20465 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57361 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68900 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92946 |
| 98 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 1271 |
| 97 | 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] | 1253 |
| 96 |
전자 온도 구하기
[1]  | 1178 |
| 95 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 1177 |
| 94 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1173 |
| 93 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1172 |
| 92 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1161 |
| 91 | wafer bias [1] | 1157 |
| 90 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1153 |
| 89 | 자기 거울에 관하여 | 1150 |
| 88 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1115 |
| 87 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1068 |
| 86 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1059 |
| 85 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1058 |
| 84 | 플라즈마 코팅 [1] | 1046 |
| 83 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1028 |
| 82 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 1009 |
| 81 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 987 |
| » | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 987 |
| 79 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 985 |
특별한 이유가 없는 한, 장비는 ground를 잘 확보하시는 것이 좋습니다. floating 조건이면 기준값이 통일되지 않아, 장비 운용에 문제를 야기할 확률이 매우 높아 집니다. 따라서 공정 재현성도 나뻐집니다. 접지 연결에는 각별한 주의를 기울이시는 것이 좋습니다. .