Plasma in general 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.
2021.02.16 15:54
안녕하세요.
국내 소재 기업에 근무하며 진공장비 및 박막 공정에 대해 공부하고 있는 이용섭입니다.
궁금한 점은
DC나 RF 플라즈마를 켜고 육안으로 봤을 때 압력에 따라 플라즈마의 크기(퍼지는 정도)에 차이가 발생합니다.
압력이 낮으면 플라즈마 크기가 커지고(퍼지고), 압력이 높아지면 플라즈마 크기가 작아지는 것으로 보입니다.
이러한 현상이 나타나는 이유(압력에 따라 플라즈마 크기가 달라지는 이유, 원리)가 궁금합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77188 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20456 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57356 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68897 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92937 |
| 198 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 985 |
| 197 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 1008 |
| 196 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1026 |
| 195 | 플라즈마 코팅 [1] | 1046 |
| 194 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1049 |
| 193 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1057 |
| 192 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1068 |
| 191 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1113 |
| 190 | 자기 거울에 관하여 | 1149 |
| 189 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1151 |
| 188 | wafer bias [1] | 1155 |
| 187 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1160 |
| 186 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1168 |
| 185 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 1169 |
| 184 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1172 |
| 183 |
전자 온도 구하기
[1]  | 1175 |
| 182 | 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] | 1251 |
| 181 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 1267 |
| 180 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 1286 |
| 179 | 플라즈마 기초입니다 [1] | 1300 |
평균충돌거리 (collision mean free path) 개념을 공부해 보시면 쉽게 이해될 것 같습니다. 게시판에 관련 내용의 설명이 있으니 collision, 이온화 거리, mean free path 의 개념을 찾아 보시기를 추천합니다. 압력이 높으면 입자간의 거리가 짧아집니다. 따라서 플라즈마 전자들이 입자들과 충돌할 거리가 짧아지며, 충돌로 에너지를 잃고 충돌 사이에 에너지를 얻어야 하는데, 그 거리가 짧고 잦은 충돌을 하게 되니
전자들이 에너지 전달이 용이하지 않고, 따라서 플라즈마 생성 확률을 낮아지게 됩니다. 참고하셔서 관련 내용을 찾아 보시면 도움이 될 것 같습니다.