Plasma in general 플라즈마 장비 내부 온도 측정법

2024.06.21 16:42

플라마 조회 수:23

안녕하세요. 플라즈마 장비를 활용하는 회사에 다니고 있는 연구원입니다!

 

현재 플라즈마 내부 온도를 측정할 수 있는 방법에 대해서 문의드리고 싶어 글을 남깁니다.

 

저희가 지름 25cm의 원통형 플라즈마 장비로 작동시키는 내부 플라즈마 온도가 최대 1만도까지 올라가는데요.

 

Thermocouple로는 측정 한계가 있어 플라즈마 내부 온도를 측정할 수 있는지 방법을 찾고 있습니다.

 

현재까지 조사한 내용으로는 KSTAR에서는 플라즈마 자기장을 이용한 '톰슨 산란레이저 광학계' 장비를 이용하는 걸로 알고 있는데요.

 

해당 플라즈마 자기장 분석을 위해서는 수십개의 중대형 장비가 필요한걸로 알고 있습니다.

 

저희는 경제적 또는 지형적 한계로 소형 또는 간이형으로 플라즈마 온도를 측정할 수 있는 장비나 분석법이 있는지 알고 싶습니다.

 

플라즈마 전공이 아니라 모르는 점이 많아 전문가님께 조언을 얻고자 문의드려요!

 

답변 부탁드리겠습니다.

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77308
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20506
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57415
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68954
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92989
19 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 328
18 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 293
17 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 267
16 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 230
15 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 228
14 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 207
13 Microwave & RF Plasma [1] 185
12 corona model에 대한 질문입니다. [1] 180
11 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 176
10 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 169
9 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 167
8 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 158
7 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 153
6 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 152
5 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 144
4 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 91
3 Druyvesteyn Distribution 54
2 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 43
» 플라즈마 장비 내부 온도 측정법 [1] 23
쓰기
태그

Boards

XE Login