Plasma in general DC Arc Plasma Torch 관련 문의

2024.10.22 10:22

스크러버연구원 조회 수:351

안녕하세요! DC Arc Plasma Torch 연구하고 있는 연구원 입니다.

 

Plasma 를 이용한 스크러버를 연구하고 반도체 공정에서 적용하여 DCS, NH3 가스를 처리하고 있습니다.

 

스크러버는 음압으로 운영 중이며, Torch 는 정전류 방식, 케리어 가스는 N2, DC Arc Plasma 로 사용중입니다.

 

질문! 정전류로 Voltage 값이 유지되다가 Voltage 값이 서서히 상승하는 현상을 발견했습니다.

 

보통 Anode 식각으로 Voltage 가 떨어지는것으로 알고있는데, Voltage 가 상승할 수 있는 원인이 무엇이 있는지 알수 있을까요?

 

감사합니다~

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