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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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전자 온도 구하기 [쉬스 전압, 스퍼터링 효과]
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공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate]
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CVD 공정에서의 self bias [이차 전자 생성, 입사 이온 에너지 분포]
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잔류시간 Residence Time에 대해 [표면 유속 정보, 유체해석 코드]
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [Chamber impedance]
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Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [플라즈마 생성 분포와 sheath 전기장]
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RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다 [고주파 플라즈마 반응 특성]
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구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마]
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low pressure영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니다. [파센 커브와 글로우 방전]
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electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [Maxwallian EEDF]
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안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge]
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RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [충돌 반응 rate constant]
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Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동]
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플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias]
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압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [Mean free path]
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Floride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [Sputter setup 및 구동 원리]
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플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [나노 분말 생성 및 제어 연구]
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플라즈마볼 제작시 [전기장 형성 및 플라즈마 방전]
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