30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77147
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20426
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57336
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68882
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92903
62 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4078
61 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4574
60 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 5246
59 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 6079
» 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6370
57 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
56 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6703
55 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7673
54 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8155
53 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8586
52 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8629
51 수중플라즈마에 대해 [1] 8770
50 대기압 플라즈마에 대해서 9647
49 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9680
48 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9845
47 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10394
46 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11609
45 냉각수에 의한 Power Leak 14450
44 remote plasma 데미지 질문 [1] 14498
43 In-flight plasma process 15508

Boards


XE Login