안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77063
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20381
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57291
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68837
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92840
102 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1238
101 플라즈마 챔버 [2] 1270
100 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1278
99 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1338
98 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1341
97 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1388
96 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1394
95 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1398
94 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1410
93 ICP lower power 와 RF bias [1] 1486
92 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1490
91 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1496
90 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1524
89 plasma 형성 관계 [1] 1562
88 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1635
87 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1635
86 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1675
85 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1683
84 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1775
83 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1825

Boards


XE Login