Plasma Source RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.

2018.11.20 16:00

RFPlasma 조회 수:1225

안녕하세요 저는 RF Plasma 관련 직종에 근무하는 직장인 입니다.

 RF generator에서 Frequency tuning (주파수 가변)  기능을 사용하고 있는데, 주파수 변화에 따라서 Matcher에서 읽혀지는 Vrms 값이 심하게 변화하는것을 확인하였습니다.

Frequency 높아질수록 (13.56Mhz 기준) Vrms 높아짐 / Irms 큰변화 없음 / Phase 높아 지는데, 왜 Frequency 변화에 따라 Vrms와 Phase가 변하고, Irms는 큰 변화가 없는 것일까요?

주파수에 따른 Vrms, Irms, Phase의 연관성을 알수 있을까요.

조언 부탁드립니다.



이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77207
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20465
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57361
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68900
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92945
105 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4596
104 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4089
103 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3858
102 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3601
101 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3463
100 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3346
99 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 3030
98 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2707
97 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2689
96 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2507
95 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2426
94 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2403
93 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2403
92 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2366
91 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2330
90 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2291
89 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2058
88 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 2000
87 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1992
86 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1974
쓰기
태그

Boards

XE Login