Others Microwave 장비 관련 질문
2013.08.20 16:19
안녕하세요 현재 반도체 관련 회사에 재직중인 직장인 입니다.
현재 저희 회사에서 Microwave 장비(Generator, RPS)에 관련 하여 시장 및 현 상황에 대한 조사를 하고 있습니다.
반도체 공정 (CVD,Etch,LCD) 쪽으로의 어느정도의 수요는 확인 되었지만 Microwave 를 사용한 Plasma 발생 하는 장비의 수가 (RF대비) 상대적으로 적은것으로 조사가 되었습니다.
제 짧은 지식으로는 공정의 Concept 가 중요하겠지만, Impedance matching 문제, 도파관 사용에 의한 설치문제, 그리고 2.45Ghz 라는 주파수의 Radical 적인 문제로 사용하는 수가 적은것으로 생각됩니다.
제 짧은 생각이 맞는지 궁금합니다. 그리고 반도체 공정 뿐만 아닌 다른 분야에서도 현재 사용되는 곳이 있는지 궁금합니다.
황당한 질문일수도 있겠지만 답변 부탁드립니다^^
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77113 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20407 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57319 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68860 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92875 |
62 | RPSC 관련 질문입니다. [2] | 4072 |
61 | 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] | 4568 |
60 | CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] | 5229 |
59 | 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] | 6072 |
58 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6370 |
57 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6410 |
56 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6699 |
55 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7671 |
54 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8153 |
» | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8586 |
52 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8626 |
51 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8764 |
50 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9645 |
49 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9678 |
48 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9845 |
47 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10392 |
46 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11582 |
45 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14450 |
44 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14495 |
43 | In-flight plasma process | 15508 |