Plasma Source RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.

2018.11.20 16:00

RFPlasma 조회 수:1238

안녕하세요 저는 RF Plasma 관련 직종에 근무하는 직장인 입니다.

 RF generator에서 Frequency tuning (주파수 가변)  기능을 사용하고 있는데, 주파수 변화에 따라서 Matcher에서 읽혀지는 Vrms 값이 심하게 변화하는것을 확인하였습니다.

Frequency 높아질수록 (13.56Mhz 기준) Vrms 높아짐 / Irms 큰변화 없음 / Phase 높아 지는데, 왜 Frequency 변화에 따라 Vrms와 Phase가 변하고, Irms는 큰 변화가 없는 것일까요?

주파수에 따른 Vrms, Irms, Phase의 연관성을 알수 있을까요.

조언 부탁드립니다.



이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77301
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20498
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57414
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68946
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92988
106 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1226
» RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1238
104 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1239
103 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1252
102 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1280
101 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1288
100 플라즈마 챔버 [2] 1297
99 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1346
98 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1376
97 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1400
96 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1414
95 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1421
94 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1432
93 ICP lower power 와 RF bias [1] 1522
92 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1527
91 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1541
90 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1553
89 plasma 형성 관계 [1] 1593
88 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1644
87 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1658
쓰기
태그

Boards

XE Login