Plasma Source 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다.
2020.03.18 15:44
안녕하세요, 이번에 대학원에 진학하게 된 학생입니다.
제 전공은 생물공학인지라 플라즈마에 관한 내용을 잘 알지 못하는데, 이번에 샘플의 표면 산화처리를 위해 플라즈마 기계의 이용을 권유받았습니다.
다만 문제가 있는 부분이 제 샘플이 약 10-100um의 플라스틱 분말이라는 점입니다.
진공을 걸고 푸는 과정에서 샘플이 날려 기계에 문제가 될 수 있다는 답변을 받아 여러 방법을 고민중입니다.
제가 고민하는 실험방법은 크게 두 종류입니다.
1. 밀폐가 가능한 유리용기 내에 미리 산소를 주입하여 포화도를 올린 후 밀봉한 상태로 플라즈마 처리
2. 공기는 이동이 가능하나 분말은 이동이 불가능한 사이즈의 필터를 이용해 샘플을 가둬둔 후 플라즈마 처리
이러한 실험이 가능하려면 종이 혹은 유리를 뚫고서 내부에 있는 분말까지 플라즈마 처리가 이루어져야 하는데,
이 부분을 확신할 수 없어 문헌조사만 하고 있습니다.
제가 찾아보고 이해하는데 시간적 한계가 와서 이 곳에 질문을 남깁니다.
답변이 가능하신 부분이라면 좋겠지만, 혹여 그렇지 못하다면 이와 관련된 논문이나 자료가 있을지도 여쭤보고 싶습니다.
제가 사용할 기기는 femco science 사의 cute라는 기계입니다.
답변 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77138 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20425 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57334 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68873 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92897 |
122 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16050 |
121 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15921 |
120 | In-flight plasma process | 15508 |
119 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14497 |
118 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14450 |
117 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11599 |
116 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10394 |
115 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9845 |
114 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9680 |
113 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9647 |
112 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8769 |
111 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8627 |
110 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8586 |
109 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8154 |
108 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7672 |
107 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6702 |
106 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6410 |
105 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6370 |
104 | 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] | 6079 |
103 | CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] | 5237 |