Plasma Source RF generator 관련 문의드립니다

2020.04.11 09:43

미누85 조회 수:1990

안녕하세요

천안에 재직중인 김민우라고 합니다

현업에 사용하는 스퍼터 장비 RF generator관련 문의사항이 있어 질문드립니다

현상은

RF 플라즈마을 띄우면 정상으로 뜰때도 있고

매처로 튜닝도 되지 않는 엄청난 리플렉트가 발생할때도 있고

플라즈마가 아에 뜨지 않는 경우도 있습니다

변경사항으로는

RF generator가 죽어서 동일한 모델에다가 죽은 generator 내부컨트롤 보드만 스왑해서 

다시 장착해서 사용중입니다

궁금한점은

원인을 계속 찾고 있는 중에

저항 체크 시 챔버쉴드랑 rf 사이에는 무한대

동축케이블 심과 쉴드 사이는 무한대 가 다뜨는데

rf generator 출력단(동축케이블 꽂는곳) 저항 체크 시 심선 닿는곳과 바깥쪽 쉴드 사이에

저항이 0.3옴이 뜹니다? 이부분이 궁금해서요..

저항이 무한대로 나와야 되는건가요?



이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77301
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20497
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57414
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68946
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92988
106 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2507
105 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4643
104 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3889
103 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 443
102 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2436
101 remote plasma 데미지 질문 [1] 14506
» RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1990
99 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1375
98 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1190
97 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2303
96 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 17735
95 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1093
94 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 820
93 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 19803
92 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1657
91 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11732
90 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2421
89 공정플라즈마 [1] 1175
88 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 526
87 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2074
쓰기
태그

Boards

XE Login