ICP ICP 대기압 플라즈마 분석
2021.11.11 14:47
안녕하세요. 교수님,
합성을 목적으로 두고 있는 5kW, 13.56MHz RF generator, ICP coil 을 이용해 대기압 플라즈마를 생성할 때 플라즈마 특성을 분석을 하고 싶은데, 일반적으로 많이 사용하는 RGA는 진공 환경에서 작동되는 것으로 알고있습니다. 관련 내용을 홈페이지에서 검색해 보니 2004년도에 교수님께서는 탐침과 OES 등을 이용해 분석하셨다고 쓰여있는데,
1. 혹시 그 동안 분석 방법에 대해서 발전된 것이 있는지,
2. 여전히 같은 방법으로 사용하고 계시다면 탐침과 OES로 어떤 것을 사용하였는지
제가 고체 물리 전공이지만 시료 합성을 위해 PECVD 관련 내용을 공부한지 얼마 안돼 관련 전공 지식이 많이 부족한 상태입니다. 추가적으로 해당 모델에 대해서 제가 공부하기 좋은 내용을 추천해 주시면 감사하겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77307 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20505 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57415 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68953 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92989 |
126 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16058 |
125 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15924 |
124 | In-flight plasma process | 15516 |
123 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14507 |
122 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14454 |
121 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11753 |
120 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10410 |
119 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9849 |
118 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9689 |
117 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9662 |
116 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8786 |
115 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1] ![]() | 8651 |
114 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8591 |
113 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8166 |
112 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7682 |
111 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6733 |
110 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6413 |
109 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6380 |
108 |
코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
[1] ![]() | 6127 |
107 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1] ![]() | 5409 |