Others ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.

2016.10.29 23:40

메탈 조회 수:1291

안녕하세요.

s전자에 근무하는 송용재라고 합니다.

Film depo공정을 담당하고 있습니다.

한가지 의문의 들고 여기저기 찾아봐도 속시원한부분이 해결되지 않아 글을 남깁니다..

RF chamber (ICP type) Belljar에서의 arcing은 왜 발생하는것일까요?

arcing과 RF2 Reflect power(plasma power)와의 연관성은 어떻게 되나요?

발생 메커니즘과 RF2 Reflect power 상관관계에 대해 궁금합니다.

답변 기다리겠습니다.

감사합니다. 수고하세요.~

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