ICP 공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식]

2019.10.27 18:33

sungsustation 조회 수:1256

교수님 안녕하세요. 플라즈마 공부하고 있는 학부생인데 기초가 많이 부족해서 질문드립니다.

 

1. 공정플라즈마에서 전자 온도가 이온, 중성기체의 온도 보다 매우 높은 이유는 무엇인지 궁금합니다.

 

2. 플라즈마에 유체방정식이 무엇이고 각 항의 의미가 어떻게 되는 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 80285
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21498
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58303
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69903
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 95004
109 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [Arc 형성 조건] [3] 4960
108 RPSC 관련 질문입니다. [플라즈마 발생과 쉬스 형성, 벽면 및 시료 demage] [2] 4267
107 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [Plasma source와 loss] [3] 4070
106 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [Breakdown 전기장, 아크 방전] [3] 3758
105 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [Arc와 cleaning] [1] 3629
104 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질] [1] 3465
103 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [소수/친수성 조절 연구] [1] 3392
102 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [MFC와 H2 gas retention] [3] 2888
101 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성] [1] 2767
100 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [Step ionization, Dissociative ionization] [1] 2633
99 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [Standing wave effect] [1] 2585
98 안녕하세요. 교수님 ICP 관련하여 문의드립니다. [충돌 단면적 및 반응 계수] [2] 2568
97 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [Etch와 remote plasma] [1] 2563
96 ECR 플라즈마에 대해서 질문드립니다. [ECR과 uniformity] [1] 2496
95 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [Self bias 및 ICP E/H mode] [2] 2479
94 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [Paschen's Law, P-d 방전 곡선] [1] 2458
93 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [라디컬 측정 방법 및 세정 기술] [2] 2264
92 Remote Plasma가 가능한 이온 [Remote plasma와 diffusion] [1] 2153
91 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마] [1] 2149
90 RF generator 관련 문의드립니다 [Matcher와 line damage] [3] 2108
쓰기
태그

Boards

XE Login