Remote Plasma RPSC 관련 질문입니다.
2016.07.18 19:13
안녕하세요
Remote Plasma Source Cleaning 에 대해 질문이 있습니다.
PECVD Chamber Cleaning을 위해 RPSC를 사용한다고 알고 있습니다.
Plasma를 챔버안에서 안터트리고 외부에서 만들어서 챔버 데미지를 안입힌다고 하는데 그 개념이 잘 이해가 안됩니다.
그럼 RPSC에서 터트리면 RPSC도 데미지를 입게되나요?
아니면 유도 전기장을 이용해서 데미지가 적은것인가요?
또한 직접 Chamber 에서 플라즈마 터트려 Cleaning 하는 것보다 Cleaning 주기도 길다고 하는데요.
그 이유도 궁금하네요.
답변 부탁드릴게요 ㅜㅜ
감사합니다.
댓글 2
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77303 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20501 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57414 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68950 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92988 |
| 66 | PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] | 3350 |
| 65 | RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] | 3471 |
| 64 | CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] | 3621 |
| 63 | CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] | 3891 |
| » | RPSC 관련 질문입니다. [2] | 4100 |
| 61 | 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] | 4644 |
| 60 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1]  | 5393 |
| 59 |
코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
[1] | 6126 |
| 58 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6379 |
| 57 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6413 |
| 56 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6731 |
| 55 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7682 |
| 54 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8166 |
| 53 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8590 |
| 52 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1] | 8649 |
| 51 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8785 |
| 50 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9662 |
| 49 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9689 |
| 48 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9849 |
| 47 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10409 |