Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:916

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77301
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20499
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57414
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68949
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92988
66 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1288
65 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1281
64 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1252
63 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1239
62 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1238
61 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1227
60 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1190
59 공정플라즈마 [1] 1175
58 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1174
57 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1093
56 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1060
55 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1051
54 anode sheath 질문드립니다. [1] 1040
53 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 1019
52 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 989
51 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 945
» Plasma Generator 관련해서요. [1] 916
49 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 897
48 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 859
47 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 851

Boards


XE Login