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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
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RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1] | 877 |
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CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 2302 |
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anode sheath 질문드립니다.
[1] | 1007 |
118 |
라디컬의 재결합 방지
[1] | 810 |
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PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1475 |
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PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 3332 |
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CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응
[1] | 996 |
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플라즈마 챔버
[2] | 1259 |
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안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
[1] | 1679 |
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ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
[1] | 1364 |
111 |
Plasma arcing 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1380 |
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ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다.
[2] | 819 |
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연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1514 |
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좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[2] | 16670 |
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교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2] | 2343 |
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안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2495 |
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챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[3] | 4542 |
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CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 3775 |
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H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련
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