ATM Plasma Silent Discharge

2004.06.19 16:11

관리자 조회 수:64561 추천:239

Silent Discharge는 일반적으로 Dielectric Barrier Discharge(DBD)라고 불리웁니다.
그런데 왜 silent discharge라 하는지 정확히는 모르지만, 그 이름으로부터 유추할수 있겠지요. 일반적인 대기압 방전으로 arc 방전이 오래 전부터 쓰였는데 이 방전은 소음을  동반합니다. 하지만 dielectric barrier 방전은 조용하지요. 그래서 silent 방전이 아닌가 합니다.

Silent 방전에 관한 좋은 논문으로는 다음을 추천합니다.
U. Kogelschatz, B. Eliasson and W. Egli,  J. Phys. IV France, vol 7, C4-47 (1997)

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77121
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20415
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57326
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68864
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92886
162 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 45
161 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 91
160 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 98
159 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 103
158 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 107
157 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 132
156 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 141
155 ICP에서 전자의 가속 [1] 179
154 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 186
153 skin depth에 대한 이해 [1] 203
152 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 207
151 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 219
150 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 231
149 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 262
148 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 340
147 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 380
146 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 440
145 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 455
144 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 470
143 plasma striation 관련 문의 [1] file 493
쓰기
태그

Boards

XE Login