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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68898
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123 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2401
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110 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 828
109 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1537
108 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16682
107 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2366
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