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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다.
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CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다.
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163 |
Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다
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Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다.
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Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성
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DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다.
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RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문
[1] | 119 |
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skin depth에 대한 이해
[1] | 229 |
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Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문
[1] | 155 |
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반사파에 의한 micro arc 질문
[2] | 143 |
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ICP에서의 Self bias 효과
[1] | 263 |
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CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다.
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ICP에서 전자의 가속
[1] | 189 |
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CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여
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파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다
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RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다.
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플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할
[1] | 351 |
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ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유
[1] | 394 |
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Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유
[1] | 750 |
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대기압 플라즈마 문의드립니다
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