kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76895 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57205 |
» | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68758 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92719 |
142 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 518 |
141 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 518 |
140 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 518 |
139 | 핵융합 질문 [1] | 571 |
138 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 576 |
137 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 587 |
136 | 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] | 599 |
135 | 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] | 619 |
134 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 625 |
133 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 627 |
132 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 630 |
131 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 715 |
130 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 720 |
129 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 722 |
128 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 762 |
127 | 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] | 763 |
126 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 792 |
125 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 810 |
124 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 811 |
123 | DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] | 812 |