안녕하십니까? 지방 국립대학교 석사생입니다.

저온 플라즈마 장비에 관련되서 질문 드리고자 합니다.

고온의 물체(공구날)를 냉각시키는 목적으로 저온 플라즈마 장비를 찾는 중입니다.

이러한 목적에 부합하는 장비에 대한 정보를 요청드립니다.

감사합니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76987
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20335
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57260
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68804
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92803
102 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4553
101 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4068
100 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3796
99 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3576
98 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3449
97 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3337
96 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2917
95 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2696
94 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2670
93 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2498
92 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2408
91 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2380
90 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2368
89 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2348
88 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2307
87 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2270
86 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2040
85 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1980
84 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1978
83 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1943

Boards


XE Login