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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리]
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에쳐장비HF/LF 그라운드 관련
[1] | 21937 |
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ICP reflecot power [Insulator와 rf leak]
[1] | 4246 |
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Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [ESC와 matcher]
[1] | 16167 |
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Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [Step ionization, Dissociative ionization]
[1] | 5178 |
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공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식]
[1] | 3149 |
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Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder]
[1] | 2327 |
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RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [라디컬 측정 방법 및 세정 기술]
[2] | 4934 |
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리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
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안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마]
[1] | 4244 |
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고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질]
[1] | 5990 |
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수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전]
[1] | 3208 |
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RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단]
[1] | 3359 |
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Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance]
[1] | 3654 |
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RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화]
[1] | 2994 |
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Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선]
[1] | 2647 |
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해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정]
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RF 변화에 영향이 있는건가요?
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CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance]
[3] | 3735 |
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Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다.
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