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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[327]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [반사파 형성과 플라즈마 운전 조건]
[2] | 25231 |
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RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [RF 방전과 이온 에너지]
[1] | 19137 |
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glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압
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대기압플라즈마를 이용한 세정장치
| 21653 |
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대기압 상태의 플라즈마 측정
| 19825 |
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Lissajous figure에 대하여..
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RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 [해리와 세정 활성종]
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Plasma source type [CCP, ICP, TCP]
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CCP의 electrod 재질 혼동 [PECVD와 화학물 코팅]
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플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절]
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기중방전에서 궁금한것이
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No. of antenna coil turns for ICP [안테나 turn 수와 플라즈마 발생 효율]
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입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) [ICP와 CCP의 heating]
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상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. [상압 플라즈마, Remote Plasma]
| 19879 |
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ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류]
| 16000 |
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냉각수에 의한 Power Leak [Density와 Power]
| 14513 |
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AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상… [Plasma Current와 dielectricity]
| 19548 |
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DBD 플라즈마와 플라즈마 impedance [DBD plasma, Matching]
| 20344 |
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14 |
DBD plasma [Excitation과 Power Current]
| 18194 |
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13 |
capacitively/inductively coupled plasma [Heating mechanism과 coolant]
| 17926 |
