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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76898
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33 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [열용량과 방전 전력에 따른 냉각 장치] [1] 21834
32 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [반사파 형성과 플라즈마 운전 조건] [2] 25379
31 RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [RF 방전과 이온 에너지] [1] 19211
30 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 22002
29 대기압플라즈마를 이용한 세정장치 21736
28 대기압 상태의 플라즈마 측정 19898
27 Lissajous figure에 대하여.. 20805
26 RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 [해리와 세정 활성종] 98095
25 Plasma source type [CCP, ICP, TCP] 80684
24 CCP의 electrod 재질 혼동 [PECVD와 화학물 코팅] 16720
23 플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절] 24729
22 기중방전에서 궁금한것이 19364
21 No. of antenna coil turns for ICP [안테나 turn 수와 플라즈마 발생 효율] 23421
20 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) [ICP와 CCP의 heating] 23438
19 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. [상압 플라즈마, Remote Plasma] 19991
18 ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류] 16081
17 냉각수에 의한 Power Leak [Density와 Power] 14597
16 AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상… [Plasma Current와 dielectricity] 19667
15 DBD 플라즈마와 플라즈마 impedance [DBD plasma, Matching] 20464
14 DBD plasma [Excitation과 Power Current] 18301

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