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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance]
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RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating]
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MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의]
[1] | 1450 |
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Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [자유행정거리, Child law sheath]
[1] | 5181 |
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LF Power에의한 Ion Bombardment [플라즈마 장비 물리]
[2] | 2572 |
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CVD 공정에서의 self bias [이차 전자 생성, 입사 이온 에너지 분포]
[1] | 3657 |
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쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [Floating sheath]
[1] | 2200 |
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KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion]
[1] | 617 |
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전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성]
[1] | 713 |
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plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [Child-Langmuir sheath model]
[2] | 3944 |
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교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath]
[1] | 974 |
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wafer bias [Self bias]
[1] | 1342 |
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쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion]
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프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath]
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아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance]
[1] | 1161 |
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DC bias (Self bias) ["Glow discharge processes"]
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Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher]
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PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [전극 표면 전위]
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안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias]
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부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해]
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