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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다.
[1] | 9009 |
14 |
Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다.
[1] | 8935 |
13 |
[기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다.
[1] | 12775 |
12 |
RF plasma에 대해서 질문드립니다.
[2] | 20985 |
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floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점
[2] | 22860 |
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self bias (rf 전압 강하)
| 26756 |
9 |
plasma and sheath, 플라즈마 크기
| 23993 |
8 |
이온주입량에 대한 문의
| 20743 |
7 |
ICP에 대하여
| 18199 |
6 |
sheath와 debye shielding에 관하여
| 27889 |
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Self Bias
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4 |
CCP 에서 Area effect(면적) ?
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3 |
self Bias voltage
| 24099 |
2 |
플라즈마 쉬스
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1 |
self bias
[1] | 19495 |