|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[337]
| 111423 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 27834 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 65098 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 76898 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 111169 |
|
15 |
RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지]
[1] | 9623 |
|
14 |
Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역]
[1] | 9279 |
|
13 |
[기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc)+Vp(plasma potential)관련 질문입니다. [플라즈마 전위와 쉬스]
[1] | 13263 |
|
12 |
RF plasma에 대해서 질문드립니다. [Sheath model, Ion current density]
[2] | 21458 |
|
11 |
floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [Ambipolar diffusion, Floating potential]
[2] | 23184 |
|
10 |
self bias (rf 전압 강하)
| 27203 |
|
9 |
plasma and sheath, 플라즈마 크기
| 24260 |
|
8 |
이온주입량에 대한 문의
| 20983 |
|
7 |
ICP에 대하여 [DC glow 방전과 ICP 플라즈마 발생]
| 18394 |
|
6 |
sheath와 debye sheilding에 관하여 [전자와 이온의 흐름]
| 28632 |
|
5 |
Self Bias [Self bias와 플라즈마 특성 인자]
| 36837 |
|
4 |
CCP에서 Area effect(면적)? [Self bias와 sheath capacitance]
| 21799 |
|
3 |
self Bias voltage [Self bias와 mobility]
| 24510 |
|
2 |
플라즈마 쉬스 [Sheath와 self bias]
| 24356 |
|
1 |
self bias [Capacitor와 mobility]
[1] | 19906 |
