Ion/Electron Temperature remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다.
2011.12.28 18:13
안녕하세요. 최근에 원자층식각(Atomic Layer Etching) 또는 ALD시 remote plasma란 용어가 자주 나오는데요, 일반적으로 이야기 하는 Plasma 와 어떤 차이가 있는 건가요? 생성방법? 이온 밀도? 등등 차이점에 대해 설명좀 부탁드립니다. 항상 감사드립니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77138 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20425 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57335 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68873 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92897 |
7 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19143 |
6 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 20082 |
5 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21927 |
4 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 22011 |
» | remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] | 22254 |
2 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 23168 |
1 | 플라즈마 온도 | 27832 |